The application of molybdenum sputtering targets is mainly concentrated in flat-panel displays, thin-film solar cell electrodes and wiring materials, and semiconductor barrier materials. These materials are based on molybdenum with high melting point, high conductivity, and low specific impedance, and have good Corrosion resistance and environmental performance.
Molybdenum Sputtering Target Details
DieMolybdän-planares ZielDie Verarbeitung erfolgt aus den hochwertigen Platten unseres Unternehmens. Es hat die Eigenschaften von hoher Dichte, keine inneren Risse und Blasen, helle Oberfläche, einheitliche Farbe und genaue Größe.
Kleine Molybdän Spinnziele werden aus hochwertigen Stäben verarbeitet und haben die Eigenschaften von genauen Abmessungen, glatter Oberfläche und hoher Reinheit.
Molybdän-Rotationstargets mit regulärer Größe werden unter Verwendung des heißen isostatischen Pressverfahrens hergestellt und zeichnen sich durch hohe Dichte (Dichte bis zu 10,15 g/cm3), feine Körner und gute Formgebung aus.
Konventionelle Dichte: 10g/cm³~10.15 g/cm³;
Spezielle Prozessdichte: größer als 10,15g/cm³.
Die Anforderungen an Sputtertargets sind höher als in der traditionellen Materialindustrie. Allgemeine Anforderungen umfassen: Größe, Ebenheit, Reinheit, Verunreinigungsgehalt, Dichte, N/O/C/S, Korngröße und Fehlerkontrolle; Höhere Anforderungen oder spezielle Anforderungen Einschließlich: Oberflächenrauheit, Widerstandswert, Korngrößengleichmäßigkeit, Zusammensetzung und Strukturgleichmäßigkeit, Fremdstoffgehalt (Oxid) und Größe, magnetische Durchlässigkeit, ultrahohe Dichte und ultrafeine Körner usw. Magnetronsputterbeschichtung ist eine neue Art physikalischer Dampfbeschichtungsmethode. Es verwendet ein Elektronenkanonensystem, um Elektronen auf das zu beschichtende Material zu emittieren und zu fokussieren, so dass die gesputterten Atome dem Impulsumwandlungsprinzip folgen und mit höherer kinetischer Energie vom Material wegfliegen. Dieses beschichtete Material wird als Sputtertarget bezeichnet. Zum Sputtern von Zielmaterialien gehören Metalle, Legierungen, keramische Verbindungen usw.
Die Magnetronsputterbeschichtung ist eine neue Art der physikalischen Dampfbeschichtungsmethode. Verglichen mit dem Verdampfungsverfahren hat es offensichtliche Vorteile in vielen Aspekten. Als relativ ausgereifte Technologie, die entwickelt wurde, wurde das Magnetronsputtern in vielen Bereichen angewendet.
Sputtertechnologie, Sputtern ist eine der wichtigsten Technologien für die Herstellung von Dünnschichtmaterialien. Es verwendet Ionen, die von einer Ionenquelle erzeugt werden, um zu beschleunigen und sich im Vakuum zu sammeln, um einen Hochgeschwindigkeits-Ionenstrahl zu bilden, der die feste Oberfläche bombardiert. Die Ionen und Atome auf der Festkörperoberfläche werden erzeugt. Der kinetische Energieaustausch bewirkt, dass die Atome auf der Festkörperoberfläche den Festkörper verlassen und sich auf der Substratoberfläche ablagern. Der bombardierte Feststoff ist der Rohstoff für die Herstellung dünner Schichten, die durch Sputtern abgeschieden werden, was als Sputtertarget bezeichnet wird. Verschiedene Arten von gesputterten Dünnschichtmaterialien sind weit verbreitet in Halbleiter-integrierten Schaltungen, Solarphotovoltaik, Aufzeichnungsmedien, flachen Displays und Werkstückoberflächenbeschichtungen.
Sputterziele werden hauptsächlich in der Elektronik- und Informationsindustrie verwendet, wie integrierte Schaltungen, Informationsspeicher, Flüssigkristallanzeigen, Laserspeicher, elektronische Steuergeräte usw.; Sie können auch im Bereich der Glasbeschichtung verwendet werden; Sie können auch in verschleißfesten Materialien, Hochtemperaturkorrosionsbeständigkeit und dekorativen Verbrauchsmaterialien und anderen Industrien verwendet werden.
Molybdän-Ziele sind in vielen Bereichen weit verbreitet. Im Folgenden finden Sie einige häufige Verwendungen von Molybdän-Targets:
1. Dünnschichtabscheidung: Molybdän-Targets können verwendet werden, um Molybdän-Dünnschichten unter Verwendung physikalischer Dampfabscheidung (PVD) oder Magnetronsputtern vorzubereiten. Diese Filme haben normalerweise ausgezeichnete leitfähige Eigenschaften, hohe Schmelzpunkte und Korrosionsbeständigkeit und werden daher häufig verwendet, um leitfähige Schichten, Barriereschichten, Metallverbindungsleitungen und andere Anwendungen vorzubereiten. Molybdän-Dünnschichten sind ein gängiges Material in Bereichen wie der Herstellung von integrierten Schaltkreisen und Dünnschicht-Solarzellen.
2. Vakuumausrüstung und thermische Barrierebeschichtung: Aufgrund des hohen Schmelzpunktes von Molybdän, der niedrigen Verdampfungsrate und der guten thermischen Stabilität können Molybdän-Ziele verwendet werden, um Komponenten in Vakuumanlagen vorzubereiten, wie Wolfram-Molybdän-Legierungsventile, Wolfram-Molybdän-Heizgeräte, etc.
Darüber hinaus kann Molybdän auch verwendet werden, um thermische Barrierebeschichtungen in Hochtemperaturanwendungen vorzubereiten, um die Hitzebeständigkeit von Materialien zu verbessern und Grundstoffe zu schützen.
3. Optische Beschichtung:Molybdän-Zieleauch im optischen Bereich eingesetzt werden. Durch die Abscheidung dünner Molybdänfilme können Beschichtungen mit spezifischen optischen Eigenschaften wie Spiegel, Filter und Transmissionsfolien hergestellt werden. Molybdänfilme haben gute Reflexionseigenschaften im Infrarot-Spektralbereich und werden daher häufig in Infrarot-Optik und Lasersystemen eingesetzt.
4. Elektronische Geräte: Molybdänziele haben auch wichtige Anwendungen in der Herstellung von elektronischen Geräten. In der Displaytechnik können Molybdänfilme beispielsweise als Rückfolien für Displays mit guter elektrischer Leitfähigkeit und Wärmestabilität verwendet werden.
Darüber hinaus wird Molybdän auch als Kontakt-, Elektroden- und Drahtmaterial in elektronischen Geräten verwendet.
5. Materialforschung und Laboranwendungen: Molybdänziele sind auch in der wissenschaftlichen Forschung und Laboranwendungen weit verbreitet. Es kann als Zielmaterial verwendet werden, um Filmwachstum, Oberflächenmodifikation und Materialeigenschaften zu untersuchen.
Darüber hinaus können Molybdän-Targets auch für die Probenvorbereitung von Elektronenmikroskopen (REM), Röntgenfluoreszenzspektrometern (XRF) und andere Anwendungen verwendet werden
The properties of molybdenum sputtering targets are the same as (pure molybdenum or molybdenum alloys). Molybdenum is a metallic element primarily used in steel. Most of it is directly used in steelmaking or cast iron. Small amounts of molybdenum are smelted into ferromolybdenum or molybdenum foil, which is then used to make steel. It can improve t
